发动机进气/大气压力传感器结构

进气/大气压力传感器大多采用半导体压阻效应式压力传感器,其检测原理是将压力的变化转换为电阻值的变化。单晶体硅材料受到压力作用后,其电阻率发生明显变化的现象,称为压阻效应。利用半导体硅和微电子技术制作的进气/大气压力传感器具有响应快、精度高、尺寸小、安装灵活等优点,因此,目前被广泛应用。 进气/大气压力传感器主要由硅膜片、真空室、壳体(图6-1)及集成电路(图6-2)等组成。硅膜片一侧通真空室,一侧通进气歧管/大气。真空室称为基准压力室,基准压力为零,真空管将进气歧管/大气压力引至硅膜片。硅膜片上集成有4只等阻值的压敏电阻,这4只压敏电阻连接成惠斯通电桥电路,然后与传感器内部的集成电路连接,如图6-2b所示,集成电路的主要作用是信号放大和温度补偿。