大气压力传感器用于检测大气压力的变化,并将变化的压力信号输入ECU,实现ECU对喷油量和点火时间的修正。大气压力传感器一般安装在空气流量计内、ECU内或前保险杠内,如图4-15所示。D型喷射发动机系统采用进气歧管压力传感器在点火开关接通的瞬间向ECU提供大气压力信号,因此没有安装大气压力传感器。
大气压力传感器与半导体压敏电阻压力传感器的制作原理类似,也是采用集成电路与微加工技术,在一块半导体基片(硅片)上形成压力传感器、温度补偿电路和放大电路。在硅片的中间,从反面经异向腐蚀形成了一个正方形的膜片(利用膜片将压力变换成应力),在膜片的表面,通过扩散杂质形成4个P型的测量电阻,以惠斯顿电桥方式连接,如图4-16所示。利用膜片的压阻效应(将加在膜片上的压力变换成电阻的变化),在两个输出端子之间输出一定的电位差。
膜片的里面与硅杯之间设计成真空腔,用于缓和外部的应力,并以此真空腔的压力为基准来测量大气压力。
