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表面弹性波式压力传感器:

来自：繁星

3年前

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表面弹性波式进气歧管压力传感器如图3-11所示。表面弹性波式进气歧管压力传感器是在一块压电基片上用超声波方法加工出一块薄膜敏感区,上面刻制换能器,换能器与电路组合成振荡器。为了提高测量精度,补偿温度对基片的影响,在薄膜敏感区边缘设置另一只性能相同的换能器。

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