真空膜盒式进气压力传感器

1.真空膜盒的组成与作用。 真空膜盒由薄金属片焊接而成,真空膜盒的内部抽成真空,外部承受被测压力(图4-12)。 当被测压力变化时,真空膜盒就会随压力的变化而膨胀或收缩,将被测压力转换为位移。 2.真空膜盒式进气压力传感器的类型。 真空膜盒式进气压力传感器,也称膜盒测压器。膜盒实际上就是将压力转换为位移的感受元件,还需要传感元件将位移量转换为电量。除了采用膜盒的电容式进气压力传感器外,真空膜盒式进气压力传感器还有差动变压器式、电位计式和互感式等不同的结构形式。